Scatterométrie

La scatterométrie est une technique optique basée sur l'analyse de la lumière diffractée par une structure périodique. Le mot scatterométrie est d'ailleurs un néologisme issu de l'anglais scattering signifiant diffraction.



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Lumière - Métrologie

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La scatterométrie est une technique optique basée sur l'analyse de la lumière diffractée par une structure périodique (par exemple un réseau de diffraction). Le mot scatterométrie est d'ailleurs un néologisme issu de l'anglais scattering signifiant diffraction.

La scatterométrie est dite :

Utilisation de la scatterométrie

Caractérisation de structures nanométriques

Ce besoin est surtout particulièrement fort dans le domaine de la microélectronique. La scattérométrie est une technique de mesure de dimensions nanométriques non-invasive et non-destructive ; elle autorise par conséquent un contrôle de procédé en ligne lors de la fabrication de semi-conducteurs.

Météorologie

Il s'agit dans ce cas d'ondes radar émises depuis un satellite à destination de la surface des océans. La forme des vagues sert à mesurer la vitesse du vent à l'interface mer-air.

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